Расширенный поиск

Постановление Правительства Российской Федерации от 26.11.2007 № 809

Документ имеет не последнюю редакцию.
     гетероэпитаксиальных структур                                                  техники  связи,  радиолокации  (2009
                                                                                    год)

4.   Разработка базовой  технологии   770            136     337     297            создание технологии производства  на
     и   библиотеки  элементов  для   ---            ---     ---     ---            основе                     нитридных
     проектирования и  производства   512            90      225     197            гетероэпитаксиальных структур мощных
     монолитных  интегральных  схем                                                 сверхвысокочастотных      монолитных
     сверхвысокочастотного                                                          интегральных   схем    с    рабочими
     диапазона  на основе нитридных                                                 частотами  до  20  ГГц  для  техники
     гетероэпитаксиальных структур                                                  связи,  радиолокации   (2011   год),
                                                                                    разработка комплектов документации в
                                                                                    стандартах      единой       системы
                                                                                    конструкторской,  технологической  и
                                                                                    производственной документации,  ввод
                                                                                    в    эксплуатацию   производственной
                                                                                    линии

5.   Разработка базовой  технологии   237     166    71                             создание базовой          технологии
     производства                     ---     ---    --                             производства     компонентов     для
     сверхвысокочастотных             151     111    40                             сверхвысокочастотных    интегральных
     компонентов                  и                                                 схем  диапазона  2-12  ГГц с высокой
     сложнофункциональных    блоков                                                 степенью интеграции  для  аппаратуры
     для       сверхвысокочастотных                                                 радиолокации  и  связи  бортового  и
     интегральных   схем    высокой                                                 наземного   применения,   а    также
     степени  интеграции  на основе                                                 бытовой  и автомобильной электроники
     гетероструктур    "кремний   -                                                 (2009  год),  разработка  комплектов
     германий"                                                                      документации   в  стандартах  единой
                                                                                    системы             конструкторской,
                                                                                    технологической  и  производственной
                                                                                    документации,  ввод  в  эксплуатацию
                                                                                    производственной линии

6.   Разработка базовой  технологии   532            100     246     186            создание базовой          технологии
     производства                     ---            ---     ---     ---            производства    сверхвысокочастотных
     сверхвысокочастотных             352            64      164     124            интегральных схем диапазона 2-12 ГГц
     интегральных    схем   высокой                                                 с  высокой  степенью  интеграции для
     степени интеграции  на  основе                                                 аппаратуры  радиолокации   и   связи
     гетероструктур    "кремний   -                                                 бортового и наземного применения,  а
     германий"                                                                      также   бытовой   и    автомобильной
                                                                                    электроники  (2011 год),  разработка
                                                                                    комплектов документации в стандартах
                                                                                    единой    системы   конструкторской,
                                                                                    технологической  и  производственной
                                                                                    документации,  ввод  в  эксплуатацию
                                                                                    производственной линии

7.   Разработка       аттестованных   111     76     35                             разработка аттестованных   библиотек
     библиотек сложнофункциональных   ---     --     --                             сложнофункциональных    блоков   для
     блоков   для    проектирования   81      51     30                             проектирования   широкого    спектра
     сверхвысокочастотных         и                                                 сверхвысокочастотных    интегральных
     радиочастотных    интегральных                                                 схем на SiGe с рабочими частотами до
     схем на основе  гетероструктур                                                 150   ГГц,   разработка   комплектов
     "кремний - германий"                                                           документации  в  стандартах   единой
                                                                                    системы             конструкторской,
                                                                                    технологической  и  производственной
                                                                                    документации,  ввод  в  эксплуатацию
                                                                                    производственной линии

8.   Разработка базовых  технологий   207            40      100     67             создание базовых          технологий
     проектирования                   ---            --      ---     --             проектирования  на основе библиотеки
     кремний-германиевых              142            30      67      45             сложнофункциональных блоков широкого
     сверхвысокочастотных         и                                                 спектра         сверхвысокочастотных
     радиочастотных    интегральных                                                 интегральных схем на SiGe с рабочими
     схем  на  основе аттестованной                                                 частотами  до  150  ГГц  (2011 год),
     библиотеки                                                                     разработка комплектов документации в
     сложнофункциональных блоков                                                    стандартах       единой      системы
                                                                                    конструкторской,  технологической  и
                                                                                    производственной документации,  ввод
                                                                                    в   эксплуатацию    производственной
                                                                                    линии

9.   Разработка базовых  технологий   120     60     60                             создание базовых          технологий
     производства  элементной  базы   ---     --     --                             производства   элементной  базы  для
     для ряда  силовых  герметичных   80      40     40                             высокоплотных источников  вторичного
     модулей          высокоплотных                                                 электропитания  сверхвысокочастотных
     источников          вторичного                                                 приборов и  узлов  аппаратуры  (2009
     электропитания   вакуумных   и                                                 год),      разработка     комплектов
     твердотельных                                                                  документации  в  стандартах   единой
     сверхвысокочастотных  приборов                                                 системы             конструкторской,
     и узлов аппаратуры                                                             технологической  и  производственной
                                                                                    документации,  ввод  в  эксплуатацию
                                                                                    производственной линии

10.  Разработка базовых  технологий   153                    89      64             создание базовых    конструкций    и
     производства    ряда   силовых   ---                    --      --             технологии              производства
     герметичных            модулей   102                    60      42             высокоэффективных,     высокоплотных
     высокоплотных       источников                                                 источников вторичного электропитания
     вторичного      электропитания                                                 сверхвысокочастотных   приборов    и
     вакуумных    и   твердотельных                                                 узлов     аппаратуры    на    основе
     сверхвысокочастотных  приборов                                                 гибридно-пленочной   технологии    с
     и узлов аппаратуры                                                             применением  бескорпусной элементной
                                                                                    базы    (2011    год),    разработка
                                                                                    комплектов документации в стандартах
                                                                                    единой   системы    конструкторской,
                                                                                    технологической  и  производственной
                                                                                    документации,  ввод  в  эксплуатацию
                                                                                    производственной линии

11.  Разработка базовых конструкций   124     74     50                             создание технологии        массового
     и    технологии   производства   ---     --     --                             производства  ряда  корпусов  мощных
     корпусов                мощных   85      52     33                             сверхвысокочастотных  приборов   для
     сверхвысокочастотных                                                           "бессвинцовой"  сборки  (2009  год),
     транзисторов X-,  C-, S-, L- и                                                 разработка комплектов документации в
     P-диапазонов из  малотоксичных                                                 стандартах       единой      системы
     материалов      с      высокой                                                 конструкторской,  технологической  и
     теплопроводностью                                                              производственной документации,  ввод
                                                                                    в   эксплуатацию    производственной
                                                                                    линии

12.  Разработка базовых конструкций   150            45      60      45             создание базовых      конструктивных
     теплоотводящих       элементов   ---            --      --      --             рядов  элементов  систем  охлаждения
     систем              охлаждения   97             30      40      27             аппаратуры   Х-   и     С-диапазонов
     сверхвысокочастотных  приборов                                                 наземных,        корабельных       и
     Х- и  С-диапазонов  на  основе                                                 воздушно-космических комплексов
     новых материалов

13.  Разработка базовой  технологии   93                     60      33             создание технологии        массового
     производства    теплоотводящих   --                     --      --             производства   конструктивного  ряда
     элементов  систем   охлаждения   62                     32      30             элементов     систем      охлаждения
     сверхвысокочастотных  приборов                                                 аппаратуры    Х-    и   С-диапазонов
     Х- и  С-диапазонов  на  основе                                                 наземных,       корабельных        и
     новых материалов                                                               воздушно-космических      комплексов
                                                                                    (2011  год),  разработка  комплектов
                                                                                    документации   в  стандартах  единой
                                                                                    системы             конструкторской,
                                                                                    технологической  и  производственной
                                                                                    документации,  ввод  в  эксплуатацию
                                                                                    производственной линии

14.  Разработка базовых  технологий   96      53     43                             создание технологии        массового
     производства     суперлинейных   --      --     --                             производства   конструктивного  ряда
     кремниевых                       62      35     27                             сверхвысокочастотных транзисторов S-
     сверхвысокочастотных                                                           и  L-диапазонов  для  техники связи,
     транзисторов S- и L-диапазонов                                                 локации  и  контрольной   аппаратуры
                                                                                    (2009  год),  разработка  комплектов
                                                                                    документации  в  стандартах   единой
                                                                                    системы             конструкторской,
                                                                                    технологической  и  производственной
                                                                                    документации,  ввод  в  эксплуатацию
                                                                                    производственной линии

15.  Разработка                       170                    95      75             создание
     конструктивно-параметрического   ---                    --      --             конструктивно-параметрического  ряда
     ряда суперлинейных  кремниевых   116                    70      46             сверхвысокочастотных транзисторов S-
     сверхвысокочастотных                                                           и  L-диапазонов  для  техники связи,
     транзисторов S- и L-диапазонов                                                 локации  и  контрольной  аппаратуры,
                                                                                    разработка комплектов документации в
                                                                                    стандартах      единой       системы
                                                                                    конструкторской,  технологической  и
                                                                                    производственной документации,  ввод
                                                                                    в    эксплуатацию   производственной
                                                                                    линии

16.  Разработка          технологии   87      45     42                             разработка           метрологической
     измерений       и      базовых   --      --     --                             аппаратуры   нового   поколения  для
     конструкций          установок   57      27     30                             исследования и  контроля  параметров
     автоматизированного  измерения                                                 полупроводниковых структур, активных
     параметров нелинейных  моделей                                                 элементов   и   сверхвысокочастотных
     сверхвысокочастотных                                                           монолитных   интегральных   схем   в
     полупроводниковых    структур,                                                 производстве и при их использовании
     мощных      транзисторов     и
     сверхвысокочастотных
     монолитных  интегральных  схем
     X-,  C-, S-, L- и P-диапазонов
     для их массового производства

17.  Исследование и      разработка   104     54     50                             создание технологии  унифицированных
     базовых     технологий     для   ---     --     --                             сверхширокополосных         приборов
     создания   нового    поколения   69      36     33                             среднего и большого уровня  мощности
     мощных  вакуумно-твердотельных                                                 сантиметрового диапазона длин волн и
     сверхвысокочастотных  приборов                                                 сверхвысокочастотных
     и   гибридных   малогабаритных                                                 магнитоэлектрических   приборов  для
     сверхвысокочастотных модулей с                                                 перспективных       радиоэлектронных
     улучшенными   массогабаритными                                                 систем     и     аппаратуры    связи
     характеристиками,                                                              космического базирования (2009 год),
     магнитоэлектрических  приборов                                                 разработка комплектов документации в
     сверхвысокочастотного                                                          стандартах      единой       системы
     диапазона,    в    том   числе                                                 конструкторской,  технологической  и
     циркуляторов и фазовращателей,                                                 производственной документации,  ввод
     вентилей,      высокодобротных                                                 в    эксплуатацию   производственной
     резонаторов,   перестраиваемых                                                 линии
     фильтров,        микроволновых
     приборов      со      спиновым
     управлением  для перспективных
     радиоэлектронных        систем
     двойного назначения

18.  Разработка базовых конструкций   141                    89      52             разработка конструктивных  рядов   и
     и    технологии   производства   ---                    --      --             базовых    технологий   производства
     нового    поколения     мощных   95                     60      35             сверхширокополосных         приборов
     вакуумно-твердотельных                                                         среднего  и большого уровня мощности
     сверхвысокочастотных  приборов                                                 сантиметрового диапазона длин волн и
     и   гибридных   малогабаритных                                                 сверхвысокочастотных
     сверхвысокочастотных модулей с                                                 магнитоэлектрических  приборов   для
     улучшенными   массогабаритными                                                 перспективных       радиоэлектронных
     характеристиками,                                                              систем    и     аппаратуры     связи
     магнитоэлектрических  приборов                                                 космического базирования (2011 год),
     сверхвысокочастотного                                                          разработка комплектов документации в
     диапазона,    в    том   числе                                                 стандартах       единой      системы
     циркуляторов и фазовращателей,                                                 конструкторской,  технологической  и
     вентилей,      высокодобротных                                                 производственной документации,  ввод
     резонаторов,   перестраиваемых                                                 в   эксплуатацию    производственной
     фильтров,        микроволновых                                                 линии
     приборов      со      спиновым
     управлением для  перспективных
     радиоэлектронных        систем
     двойного назначения

19.  Исследование и      разработка   85      45     40                             создание технологических   процессов
     процессов и базовых технологий   --      --     --                             производства           нанопленочных
     нанопленочных   малогабаритных   57      30     27                             малогабаритных  сверхвысокочастотных
     сверхвысокочастотных                                                           резисторно-индуктивно-емкостных
     резисторно-индуктивно-                                                         матриц          многофункционального
     емкостных               матриц                                                 назначения   для  печатного  монтажа
     многофункционального                                                           (2008   год),    создание    базовой
     назначения    для    печатного                                                 технологии                 получения
     монтажа                      и                                                 сверхбыстродействующих (до 150  ГГц)
     сверхбыстродействующих (до 150                                                 приборов  на  наногетероструктурах с
     ГГц)        приборов        на                                                 квантовыми  эффектами  (2009   год),
     наногетероструктурах         с                                                 разработка комплектов документации в
     квантовыми дефектами                                                           стандартах      единой       системы
                                                                                    конструкторской,  технологической  и
                                                                                    производственной документации,  ввод
                                                                                    в    эксплуатацию   производственной
                                                                                    линии

20.  Разработка базовых конструкций   85                     45      40             создание конструктивных   рядов    и
     и    технологии   производства   --                     --      --             базовых    технологий   производства
     нанопленочных   малогабаритных   57                     30      27             нанопленочных         малогабаритных
     сверхвысокочастотных                                                           сверхвысокочастотных
     резисторно-индуктивно-                                                         резисторно-индуктивно-емкостных
     емкостных               матриц                                                 матриц          многофункционального
     многофункционального                                                           назначения  для  печатного   монтажа
     назначения    для    печатного                                                 (2011  год),  разработка  комплектов
     монтажа                                                                        документации  в  стандартах   единой
                                                                                    системы             конструкторской,
                                                                                    технологической  и  производственной
                                                                                    документации,  ввод  в  эксплуатацию
                                                                                    производственной линии

21.  Разработка базовой  технологии   156     86     70                             создание базовой          технологии
     сверхвысокочастотных     p-i-n   ---     --     --                             производства элементов и специальных
     диодов,     матриц,      узлов   104     57     47                             элементов   и   блоков   портативной
     управления    и    портативных                                                 аппаратуры  миллиметрового диапазона
     фазированных блоков аппаратуры                                                 длин  волн  для   нового   поколения
     миллиметрового  диапазона длин                                                 средств    связи,   радиолокационных
     волн         на         основе                                                 станций,             радионавигации,
     магнитоэлектронных                                                             измерительной техники, автомобильных
     твердотельных                и                                                 радаров,   охранных   и   сигнальных
     высокоскоростных      цифровых                                                 устройств   (2009  год),  разработка
     приборов   и    устройств    с                                                 комплектов документации в стандартах
     функциями      адаптации     и                                                 единой    системы   конструкторской,
     цифрового диаграммообразования                                                 технологической  и  производственной
                                                                                    документации,  ввод  в  эксплуатацию
                                                                                    производственной линии

22.  Разработка базовых  технологий   2670    375    420     450     525     900    создание конструктивных   рядов    и
     создания    мощных   вакуумных   ----    ---    ---     ---     ---     ---    базовых  технологий проектирования и
     сверхвысокочастотных устройств   1780    250    280     300     350     600    производства  мощных  и  сверхмощных
                                                                                    вакуумных       сверхвысокочастотных
                                                                                    приборов  для  аппаратуры   широкого
                                                                                    назначения  нового  поколения  (2009
                                                                                    год, 2011 год), включая разработку:
                                                                                    конструкций             многолучевых
                                                                                    электронно-оптических        систем,
                                                                                    включая    автоэмиссионные    катоды
                                                                                    повышенной  мощности и долговечности
                                                                                    (2012 год);
                                                                                    мощных широкополосных  ламп  бегущей
                                                                                    волны  импульсного  и   непрерывного
                                                                                    действия,    магнетронов,   тетродов
                                                                                    миллиметрового диапазона (2013 год);
                                                                                    малогабаритных           ускорителей
                                                                                    электронов с энергией до 10 МЭВ  для
                                                                                    терапевтических     и    технических
                                                                                    приложений (2014 год)

23.  Разработка базовых  технологий   1785    150    300     300     135     900    создание базовых    конструкций    и
     создания  мощных твердотельных   ----    ---    ---     ---     ---     ---    технологий              изготовления
     сверхвысокочастотных устройств   1190    100    200     200     90      600    сверхвысокочастотных мощных приборов
     на базе нитрида галлия                                                         на   структурах   с   использованием
                                                                                    нитрида галлия (2008 год, 2010 год),
                                                                                    включая:
                                                                                    создание гетеропереходных    полевых
                                                                                    транзисторов   с   диодом  Шоттки  с
                                                                                    удельной мощностью до 30-40 Вт/мм  и
                                                                                    рабочими напряжениями до 100 В;
                                                                                    исследования и разработку технологий
                                                                                    получения  гетероструктур  на основе
                                                                                    слоев нитрида галлия на изоляторе  и
                                                                                    высокоомных подложках (2013 год);
                                                                                    разработка технологии      получения
                                                                                    интегральных   схем,   работающих  в
                                                                                    экстремальных условиях (2015 год)

24.  Исследование     перспективных   1080                                   1080   исследование         технологических
     типов     сверхвысокочастотных   ----                                   ----   принципов формирования перспективных
     приборов      и      структур,   720                                    720    сверхвысокочастотных   приборов    и
     разработка     технологических                                                 структур,      включая      создание
     принципов их изготовления                                                      наногетероструктур,    использование
                                                                                    комбинированных    (электронных    и
                                                                                    оптических   методов   передачи    и
                                                                                    преобразования            сигналов),
                                                                                    определение  перспективных   методов
                                                                                    формирования   приборных   структур,
                                                                                    работающих в частотных диапазонах до
                                                                                    200 ГГц

25.  Разработка       перспективных   1050                                   1050   создание полного состава  прикладных
     методов    проектирования    и   ----                                   ----   программ       проектирования      и
     моделирования                    700                                    700    оптимизации     сверхвысокочастотной
     сложнофункциональной                                                           электронной    компонентной    базы,
     сверхвысокочастотной                                                           включая   проектирование    активных
     электронной компонентной базы                                                  приборов, полосковых линий передачи,
                                                                                    согласующих компонентов, формируемых
                                                                                    в едином технологическом процессе

     Всего по направлению 1           10791   1545   1722    1930,5  1603,5  3930
                                      -----   ----   ----    ------  ------  ----
                                      7194    1030   1148    1327    1069    2620

                            Направление 2. Радиационно стойкая электронная компонентная база

26.  Разработка базовой  технологии   151     71      80                            создание технологии     изготовления
     радиационно            стойких   -----   ----    ----                          микросхем  с размерами элементов 0,5
     сверхбольших интегральных схем   100,8   47,4    53,4                          мкм  на   структурах   "кремний   на
     уровня  0,5  мкм на структурах                                                 сапфире"   диаметром  150  мм  (2009
     "кремний на сапфире" диаметром                                                 год),       разработка        правил
     150 мм                                                                         проектирования   базовых   библиотек
                                                                                    элементов  и   блоков   цифровых   и
                                                                                    аналоговых сверхбольших интегральных
                                                                                    схем  расширенной  номенклатуры  для
                                                                                    организации производства радиационно
                                                                                    стойкой       элементной       базы,
                                                                                    обеспечивающей  выпуск   специальной
                                                                                    аппаратуры и  систем,  работающих  в
                                                                                    экстремальных    условиях   (атомная
                                                                                    энергетика, космос, военная техника)

27.  Разработка базовой  технологии   315,4                  59,4    256            создание технологии     изготовления
     радиационно            стойких   -----                  ----    -----          микросхем с размерами элементов 0,35
     сверхбольших интегральных схем   210,3                  39,6    170,7          мкм  на   структурах   "кремний   на
     уровня  0,35 мкм на структурах                                                 сапфире"   диаметром  150  мм  (2011
     "кремний на сапфире" диаметром                                                 год),       разработка        правил
     150 мм                                                                         проектирования   базовых   библиотек
                                                                                    элементов  и   блоков   цифровых   и
                                                                                    аналоговых сверхбольших интегральных
                                                                                    схем,    обеспечивающих     создание
                                                                                    расширенной             номенклатуры
                                                                                    быстродействующей                  и
                                                                                    высокоинтегрированной
                                                                                    радиационностойкой элементной базы

28.  Разработка          технологии   155     71      84                            создание технологического     базиса
     проектирования               и   -----   ----    --                            (технология проектирования,  базовые
     конструктивно-технологических    103,4   47,4    56                            технологии),            позволяющего
     решений  библиотеки логических                                                 разрабатывать   радиационно  стойкие
     и    аналоговых     элементов,                                                 сверхбольшие интегральные  схемы  на
     оперативных       запоминающих                                                 структурах  "кремний на изоляторе" с
     устройств,          постоянных                                                 проектной нормой до 0,25  мкм  (2009
     запоминающих        устройств,                                                 год)
     сложнофункциональных
     радиационно   стойких   блоков
     контроллеров   по   технологии
     "кремний   на   изоляторе"   с
     проектными нормами до 0,25 мкм

29.  Разработка          технологии   360,1                  81,5    278,6          создание технологического     базиса
     проектирования               и   -----                  ----    -----          (технология проектирования,  базовые
     конструктивно-технологических    240                    54,3    185,7          технологии),            позволяющего
     решений  библиотеки логических                                                 разрабатывать   радиационно  стойкие
     и    аналоговых     элементов,                                                 сверхбольшие интегральные  схемы  на
     оперативных       запоминающих                                                 структурах  "кремний на изоляторе" с
     устройств,          постоянных                                                 проектной нормой до 0,18 мкм
     запоминающих        устройств,
     сложнофункциональных
     радиационно   стойких   блоков
     контроллеров   по   технологии
     "кремний   на   изоляторе"   с
     проектными нормами до 0,18 мкм

30.  Разработка             базовых   174     98      76                            создание технологического   процесса
     технологических      процессов   ---     ----    ----                          изготовления            сверхбольших
     изготовления       радиационно   116     65,3    50,7                          интегральных схем энергонезависимой,
     стойкой  элементной  базы  для                                                 радиационно                  стойкой
     сверхбольших интегральных схем                                                 сегнетоэлектрической  памяти  уровня
     энергозависимой                                                                0,35   мкм   и   базовой  технологии
     пьезоэлектрической           и                                                 создания,  изготовления и аттестации
     магниторезистивной   памяти  с                                                 радиационно     стойкой    пассивной
     проектными нормами 0,35 мкм  и                                                 электронной компонентной базы  (2009
     пассивной  радиационно стойкой                                                 год)
     элементной базы

31.  Разработка             базовых   261                    56      205            создание технологического   процесса
     технологических      процессов   -----                  ----    -----          изготовления            сверхбольших
     изготовления       радиационно   174,2                  37,3    136,9          интегральных схем  энергонезависимой
     стойкой  элементной  базы  для                                                 радиационно                  стойкой
     сверхбольших интегральных схем                                                 сегнетоэлектрической  памяти  уровня
     энергозависимой                                                                0,18  мкм  (2010  год)  и  создания,
     пьезоэлектрической           и                                                 изготовления      и       аттестации
     магниторезистивной   памяти  с                                                 радиационно     стойкой    пассивной
     проектными нормами 0,18 мкм  и                                                 электронной компонентной базы  (2011
     пассивной  радиационно стойкой                                                 год)
     элементной базы

32.  Разработка технологии "кремний   140,8   83,2    57,6                          разработка расширенного         ряда
     на  сапфире" изготовления ряда   -----   ----    ----                          цифровых                процессоров,
     лицензионно-независимых          93,9    55,4    38,5                          микроконтроллеров,       оперативных
     радиационно            стойких                                                 запоминающих    программируемых    и
     комплементарных        полевых                                                 перепрограммируемых       устройств,
     полупроводниковых сверхбольших                                                 аналого-цифровых  преобразователей в
     интегральных   схем   цифровых                                                 радиационно стойком  исполнении  для
     процессоров          обработки                                                 создания    специальной   аппаратуры
     сигналов,  микроконтроллеров и                                                 нового поколения
     схем интерфейса

33.  Разработка технологии структур   374                    74,5    299,5          создание технологии проектирования и
     с  ультратонким  слоем кремния   -----                  ----    -----          изготовления       микросхем       и
     на сапфире                       249,5                  49,8    199,7          сложнофункциональных    блоков    на
                                                                                    основе    ультратонких    слоев   на
                                                                                    структуре  "кремний   на   сапфире",
                                                                                    позволяющей            разрабатывать
                                                                                    радиационно   стойкие   сверхбольшие
                                                                                    интегральные схемы с высоким уровнем
                                                                                    радиационной стойкости (2011 год)

34.  Разработка базовой  технологии   152,6   80,6    72                            разработка конструкции   и    модели
     и    приборно-технологического   -----   ----    --                            интегральных       элементов       и
     базиса            производства   98,4    50,4    48                            технологического            маршрута
     радиационно            стойких                                                 изготовления   радиационно   стойких
     сверхбольших интегральных схем                                                 сверхбольших интегральных схем  типа
     "система     на    кристалле",                                                 "система на кристалле" с расширенным
     радиационно  стойкой   силовой                                                 температурным  диапазоном,   силовых
     электроники   для   аппаратуры                                                 транзисторов  и модулей для бортовых
     питания и управления                                                           и промышленных систем  управления  с
                                                                                    пробивными  напряжениями  до  75 В и
                                                                                    рабочими токами коммутации до  10  А
                                                                                    (2009 год)

35.  Разработка элементной     базы   81,2    33,2    48                            создание ряда   микронанотриодов   и
     радиационно            стойких   ----    ----    --                            микронанодиодов      с     наивысшей
     интегральных  схем  на  основе   57,5    25,5    32                            радиационной     стойкостью      для
     полевых            эмиссионных                                                 долговечной  аппаратуры космического
     микронанотриодов                                                               базирования

36.  Создание информационной   базы   251                    61,1    189,9          разработка комплекса моделей расчета
     радиационно            стойкой   -----                  ----    -----          радиационной  стойкости  электронной
     электронной компонентной базы,   167,3                  40,7    126,6          компонентной  базы  для  определения
     содержащей модели интегральных                                                 технически     обоснованных     норм
     компонентов, функционирующих в                                                 испытаний
     условиях          радиационных
     воздействий,          создание
     математических         моделей
     стойкости          электронной
     компонентной   базы,  создание
     методик испытаний и аттестации
     электронной компонентной базы

37.  Разработка           библиотек   975                                    975    создание технологии проектирования и
     стандартных     элементов    и   ---                                    ---    изготовления       микросхем       и
     сложнофункциональных    блоков   650                                    650    сложнофункциональных    блоков    на
     для    создания    радиационно                                                 основе    ультратонких    слоев   на
     стойких           сверхбольших                                                 структуре  "кремний   на   сапфире",
     интегральных схем                                                              позволяющей            разрабатывать
                                                                                    радиационно   стойкие   сверхбольшие
                                                                                    интегральные схемы с высоким уровнем
                                                                                    радиационной  стойкости  (2012  год,
                                                                                    2015 год)

38.  Разработка расширенного   ряда   975                                    975    разработка расширенного         ряда
     радиационно            стойких   ---                                    ---    цифровых                процессоров,
     сверхбольших интегральных схем   600                                    600    микроконтроллеров,       оперативных
     для   специальной   аппаратуры                                                 запоминающих    программируемых    и
     связи,  обработки  и  передачи                                                 перепрограммируемых       устройств,
     информации, систем управления                                                  аналого-цифровых  преобразователей в
                                                                                    радиационно стойком  исполнении  для
                                                                                    создания    специальной   аппаратуры
                                                                                    нового     поколения,     разработка
                                                                                    конструкции  и  модели  интегральных
                                                                                    элементов     и     технологического
                                                                                    маршрута   изготовления  радиационно
                                                                                    стойких  сверхбольших   интегральных
                                                                                    схем  типа  "система на кристалле" с
                                                                                    расширенным            температурным
                                                                                    диапазоном,  силовых  транзисторов и
                                                                                    модулей для бортовых и  промышленных
                                                                                    систем   управления   с   пробивными
                                                                                    напряжениями  до  75  В  и  рабочими
                                                                                    токами коммутации до 10 А,  создание
                                                                                    ряда       микронанотриодов        и
                                                                                    микронанотриодов     с     наивысшей
                                                                                    радиационной     стойкостью      для
                                                                                    долговечной  аппаратуры космического
                                                                                    базирования

39.  Разработка и совершенствование   951                                    951    разработка комплекса моделей расчета
     методов     моделирования    и   ---                                    ---    радиационной  стойкости  электронной
     проектирования     радиационно   634                                    634    компонентной  базы  для  определения
     стойкой элементной базы                                                        технически     обоснованных     норм
                                                                                    испытаний

40.  Разработка и совершенствование   975                                    975    создание технологического     базиса
     базовых      технологий      и   ---                                    ---    (технология проектирования,  базовые
     конструкций        радиационно   650                                    650    технологии),            позволяющего
     стойких           сверхбольших                                                 разрабатывать   радиационно  стойкие
     интегральных      схем      на                                                 сверхбольшие интегральные  схемы  на
     структурах     "кремний     на                                                 структурах  "кремний на изоляторе" с
     сапфире"   и    "кремний    на                                                 проектной нормой не менее  0,18  мкм
     изоляторе"  с  топологическими                                                 (2014         год),         создание
     нормами не менее 0,18 мкм                                                      технологического базиса  (технология
                                                                                    проектирования, базовые технологии),
                                                                                    позволяющего           разрабатывать
                                                                                    радиационно   стойкие   сверхбольшие
                                                                                    интегральные  схемы  на   структурах
                                                                                    "кремний  на  изоляторе" с проектной
                                                                                    нормой не менее 0,18 мкм (2015 год)

     Всего                            6293    437,1  417,6   332,5   1229,4  3876
     по направлению 2                 ------  -----  -----   -----   ------  ----
                                      4195,3  291,4  278,6   221,7   819,6   2584

                                         Направление 3. Микросистемная техника

41.  Разработка базовых  технологий   209     112    97                             создание базовых  технологий   (2009
     микроэлектромеханических         ---     ---    --                             год)  и  комплектов  технологической
     систем                           105     75     30                             документации     на     изготовление
                                                                                    микроэлектромеханических      систем
                                                                                    контроля                   давления,
                                                                                    микроакселерометров                с
                                                                                    чувствительностью  по  двум  и  трем
                                                                                    осям,   микромеханических   датчиков
                                                                                    угловых скоростей, микроактюаторов

42.  Разработка базовых конструкций   424     -      75      228     121            разработка базовых   конструкций   и
     микроэлектромеханических         ---            --      ---     ---            комплектов               необходимой
     систем                           277            60      141     76             конструкторской   документации    на
                                                                                    изготовление          чувствительных
                                                                                    элементов  и  микросистем   контроля
                                                                                    давления,       микроакселерометров,
                                                                                    микромеханических  датчиков  угловых
                                                                                    скоростей,     микроактюаторов     с
                                                                                    напряжением              управления,
                                                                                    предназначенных  для использования в
                                                                                    транспортных средствах, оборудовании
                                                                                    топливно-энергетического  комплекса,
                                                                                    машиностроении, медицинской технике,
                                                                                    робототехнике, бытовой технике

43.  Разработка базовых  технологий   155     110    45                             создание базовых  технологий   (2009
     микроакусто-                     ---     ---    --                             год)    и   комплектов   необходимой
     электромеханических систем       100     70     30                             технологической   документации    на
                                                                                    изготовление
                                                                                    микроакустоэлектромеханических
                                                                                    систем,  основанных на использовании
                                                                                    поверхностных   акустических    волн
                                                                                    (диапазон   частот   до   2  ГГц)  и
                                                                                    объемно-акустических волн  (диапазон
                                                                                    частот до 8 ГГц),  пьезокерамических
                                                                                    элементов,       совместимых       с
                                                                                    интегральной             технологией
                                                                                    микроэлектроники

44.  Разработка базовых конструкций   418            71      225     122            разработка базовых   конструкций   и
     микроакустоэлектромеханических   ---            --      ---     ---            комплектов               необходимой
     систем                           280            60      143     77             конструкторской   документации    на
                                                                                    изготовление    пассивных   датчиков
                                                                                    физических         величин         -
                                                                                    микроакселерометров, микрогироскопов
                                                                                    на    поверхностных     акустических
                                                                                    волнах,    датчиков    давления    и
                                                                                    температуры,  датчиков   деформации,
                                                                                    крутящего          момента         и
                                                                                    микроперемещений, резонаторов

45.  Разработка базовых  технологий   55      55                                    создание базовых          технологий
     микроаналитических систем        --      --                                    изготовления               элементов
                                      38      38                                    микроаналитических           систем,
                                                                                    чувствительных к газовым, химическим
                                                                                    и биологическим компонентам  внешней
                                                                                    среды,      предназначенных      для
                                                                                    использования      в      аппаратуре
                                                                                    жилищно-коммунального  хозяйства,  в
                                                                                    медицинской и биомедицинской технике
                                                                                    для обнаружения токсичных, горючих и
                                                                                    взрывчатых материалов

46.  Разработка базовых конструкций   224            64      102     58             создание базовых         конструкций
     микроаналитических систем        ---            --      ---     --             микроаналитических           систем,
                                      164            30      86      48             предназначенных    для    аппаратуры
                                                                                    жилищно-коммунального     хозяйства,
                                                                                    медицинской     и     биомедицинской
                                                                                    техники;
                                                                                    разработка датчиков и  аналитических
                                                                                    систем    миниатюрных   размеров   с
                                                                                    высокой     чувствительностью      к
                                                                                    сверхмалым  концентрациям химических
                                                                                    веществ      для       осуществления
                                                                                    мониторинга     окружающей    среды,
                                                                                    контроля качества пищевых  продуктов
                                                                                    и  контроля утечек опасных и вредных
                                                                                    веществ в технологических процессах

47.  Разработка базовых  технологий   94      59     35                             создание базовых технологий  выпуска
     микрооптоэлектромеханических     --      --     --                             трехмерных        оптических       и
     систем                           71      41     30                             акустооптических      функциональных
                                                                                    элементов,
                                                                                    микрооптоэлектромеханических  систем
                                                                                    для     коммутации    и    модуляции
                                                                                    оптического               излучения,
                                                                                    акустооптических     перестраиваемых
                                                                                    фильтров,   двухмерных   управляемых
                                                                                    матриц                   микрозеркал
                                                                                    микропереключателей и фазовращателей
                                                                                    (2009 год)

48.  Разработка базовых конструкций   208            35      112     61             разработка базовых   конструкций   и
     микрооптоэлектромеханических     ---            --      ---     --             комплектов,          конструкторской
     систем                           145            30      75      40             документации     на     изготовление
                                                                                    микрооптоэлектромеханических  систем
                                                                                    коммутации и  модуляции  оптического
                                                                                    излучения

49.  Разработка базовых  технологий   55      55                                    создание базовых          технологий
     микросистем анализа  магнитных   --      --                                    изготовления   микросистем   анализа
     полей                            38      38                                    магнитных    полей     на     основе
                                                                                    анизотропного      и     гигантского
                                                                                    магниторезистивного        эффектов,
                                                                                    квазимонолитных     и     монолитных
                                                                                    гетеромагнитных  пленочных  структур
                                                                                    (2008 год)

50.  Разработка базовых конструкций   214            54      104     56             разработка базовых   конструкций   и
     микросистем анализа магнитных    ---            --      ---     --             комплектов           конструкторской
     полей                            137            30      69      38             документации                      на
                                                                                    магниточувствительные   микросистемы
                                                                                    для   применения    в    электронных
                                                                                    системах   управления  приводами,  в
                                                                                    датчиках  положения  и  потребления,
                                                                                    бесконтактных переключателях

51.  Разработка базовых  технологий   77      45     32                             разработка и освоение в производстве
     радиочастотных микроэлектро-     --      --     --                             базовых    технологий   изготовления
     механических систем              61      31     30                             радиочастотных
                                                                                    микроэлектромеханических   систем  и
                                                                                    компонентов,  включающих  микрореле,
                                                                                    коммутаторы,      микропереключатели
                                                                                    (2009 год)

52.  Разработка базовых конструкций   166            32      87      47             разработка базовых   конструкций   и
     радиочастотных                   ---            --      --      --             комплектов           конструкторской
     микроэлектромеханических         119            30      58      31             документации     на     изготовление
     систем                                                                         радиочастотных
                                                                                    микроэлектромеханических  систем   -
                                                                                    компонентов,   позволяющих  получить
                                                                                    резкое   улучшение   массогабаритных
                                                                                    характеристик,             повышение
                                                                                    технологичности и снижение стоимости
                                                                                    изделий

53.  Разработка методов  и  средств   40      40                                    создание методов и средств  контроля
     обеспечения     создания     и   --      --                                    и     измерения     параметров     и
     производства           изделий   24      24                                    характеристик                изделий
     микросистемной техники                                                         микросистемотехники,      разработка
                                                                                    комплектов стандартов и  нормативных
                                                                                    документов    по    безопасности   и
                                                                                    экологии

54.  Разработка       перспективных   1155                                   1155   создание базовых технологий  выпуска
     технологий    и    конструкций   ----                                   ----   трехмерных        оптических       и
     микрооптоэлектромеханических     770                                    770    акустооптических      функциональных
     систем      для     оптической                                                 элементов,
     аппаратуры, систем отображения                                                 микрооптоэлектромеханических  систем
     изображений,           научных                                                 для     коммутации    и    модуляции
     исследований   и   специальной                                                 оптического  излучения  (2012  год),
     техники                                                                        акустооптических     перестраиваемых
                                                                                    фильтров  (2012   год),   двухмерных
                                                                                    управляемых    матриц    микрозеркал
                                                                                    микропереключателей и фазовращателей
                                                                                    (2013   год),   разработка   базовых
                                                                                    технологий,      конструкций       и
                                                                                    комплектов,          конструкторской
                                                                                    документации     на     изготовление
                                                                                    микрооптоэлектромеханических  систем
                                                                                    коммутации и  модуляции  оптического
                                                                                    излучения (2015 год)

55.  Разработка и совершенствование   1155                                   1155   создание методов и средств  контроля
     методов  и  средств  контроля,   ----                                   ----   и     измерения     параметров     и
     испытаний и аттестации изделий   770                                    770    характеристик                изделий
     микросистемотехники                                                            микросистемотехники,      разработка
                                                                                    комплектов стандартов и  нормативных
                                                                                    документов    по    безопасности   и
                                                                                    экологии

56.  Разработка       перспективных   1170                                   1170   создание перспективных    технологий
     технологий    и    конструкций   ----                                   ----   изготовления               элементов
     микроаналитических систем  для   780                                    780    микроаналитических           систем,
     аппаратуры      контроля     и                                                 чувствительных к газовым, химическим
     обнаружения         токсичных,                                                 и биологическим компонентам  внешней
     горючих,      взрывчатых     и                                                 среды,      предназначенных      для
     наркотических веществ                                                          использования      в      аппаратуре
                                                                                    жилищно-коммунального      хозяйства
                                                                                    (2012 год, 2013 год, 2014 год)

     Всего по направлению 3           5818,5  475,5  540     858     465     3480
                                      ------  -----  ---     ---     ---     ----
                                      3879    317    360     572     310     2320

                                            Направление 4. Микроэлектроника

57.  Разработка технологии        и   270     148,9  121,1                          разработка                 комплекта
     развитие           методологии   -----   -----  -----                          нормативно-технической  документации
     проектирования         изделий   125,6   76,6   49                             по      проектированию       изделий
     микроэлектроники:                                                              микроэлектроники,           создание
     разработка и          освоение                                                 отраслевой базы данных с  каталогами
     современной         технологии                                                 библиотечных       элементов       и
     проектирования   универсальных                                                 сложнофункциональных    блоков     с
     микропроцессоров,  процессоров                                                 каталогизированными     результатами
     обработки            сигналов,                                                 аттестации  на  физическом   уровне,
     микроконтроллеров  и  "системы                                                 разработка                 комплекта
     на    кристалле"   на   основе                                                 нормативно-технической             и
     каталогизированных                                                             технологической    документации   по
     сложнофункциональных  блоков и                                                 взаимодействию               центров
     библиотечных элементов,  в том                                                 проектирования в сетевом режиме
     числе создание отраслевой базы
     данных    и    технологических
     файлов  для автоматизированных
     систем проектирования;
     освоение и развитие технологии
     проектирования для обеспечения
     технологичности производства и
     стабильного  выхода  годных  с
     целью  размещения  заказов  на
     современной  базе контрактного
     производства с технологическим
     уровнем до 0,13 мкм

58.  Разработка и освоение  базовой   34      22     12                             разработка комплекта технологической
     технологии        производства   ----    ----   --                             документации                       и
     фотошаблонов с технологическим   22,7    14,7   8                              организационно-распорядительной
     уровнем  до  0,13  мкм с целью                                                 документации    по    взаимодействию
     обеспечения     информационной                                                 центров  проектирования   и   центра
     защиты     проектов    изделий                                                 изготовления фотошаблонов
     микроэлектроники           при
     использовании     контрактного
     производства (отечественного и
     зарубежного)

59.  Разработка семейств  и   серий   766,9   336,7  430,2                          разработка комплектов документации в
     изделий микроэлектроники:        -----   -----  -----                          стандартах       единой      системы
     универсальных микропроцессоров   466,8   180    286,8                          конструкторской,  технологической  и
     для встроенных применений;                                                     производственной       документации,
     универсальных микропроцессоров                                                 изготовление    опытных     образцов
     для    серверов    и   рабочих                                                 изделий   и   организация  серийного
     станций;                                                                       производства
     цифровых процессоров обработки
     сигналов;
     сверхбольших      интегральных
     схем,          программируемых
     логических интегральных схем;
     сверхбольших интегральных схем
     быстродействующей динамической
     и статической памяти;
     микроконтроллеров           со
     встроенной   энергонезависимой
     электрически   программируемой
     памятью;
     схем интерфейса    дискретного
     ввода/вывода;
     схем аналогового интерфейса;
     цифроаналоговых              и
     аналого-цифровых
     преобразователей  на  частотах
     выше  100  МГц  с разрядностью
     более 8-12 бит;
     схем приемопередатчиков шинных
     интерфейсов;
     изделий       интеллектуальной
     силовой  микроэлектроники  для
     применения     в    аппаратуре
     промышленного    и    бытового
     назначения;
     встроенных        интегральных
     источников питания

60.  Разработка базовых    серийных   1801,6                 799,8   1001,8         разработка комплектов документации в
     технологий             изделий   ------                 ------  ------         стандартах       единой      системы
     микроэлектроники:                1200,9                 533,1   667,8          конструкторской,  технологической  и
     цифроаналоговых              и                                                 производственной       документации,
     аналого-цифровых                                                               изготовление    опытных     образцов
     преобразователей  на  частотах                                                 изделий   и   организация  серийного
     выше 100  МГц  с  разрядностью                                                 производства
     более 14-16 бит;
     микроэлектронных     устройств
     различных    типов,    включая
     сенсоры     с      применением
     наноструктур и биосенсоров;
     сенсоров на             основе
     магнито-электрических        и
     пьезоматериалов;    встроенных
     интегральных          антенных
     элементов    для    диапазонов
     частот 5 ГГц, 10-12 ГГц;
     систем на  кристалле,  в   том
     числе    в    гетероинтеграции
     сенсорных   и   исполнительных
     элементов методом беспроводной
     сборки      с      применением
     технологии  матричных  жестких
     выводов

61.  Разработка технологии        и   462,4   252,4  210                            разработка комплектов документации в
     освоение  производства изделий   -----   -----  -----                          стандартах       единой      системы
     микроэлектроники             с   308,3   168,3  140                            конструкторской,     технологической
     технологическим  уровнем  0,13                                                 документации  и  ввод в эксплуатацию
     мкм                                                                            производственной линии

62.  Разработка базовой  технологии   894,8                  146,3   748,5          разработка комплектов документации в
     формирования      многослойной   -----                  -----   -----          стандартах       единой      системы
     разводки     (7-8     уровней)   596,2                  97,3    498,9          конструкторской,  технологической  и
     сверхбольших интегральных схем                                                 производственной документации,  ввод
     на основе Al и Cu                                                              в   эксплуатацию    производственной
                                                                                    линии

63.  Разработка технологии        и   494,2          211,1   166,4   116,7          разработка комплектов документации в
     организация       производства   -----          -----   -----   -----          стандартах       единой      системы
     многокристальных                 294,2          105,6   110,9   77,7           конструкторской,  технологической  и
     микроэлектронных  модулей  для                                                 производственной документации,  ввод
     мобильных     применений     с                                                 в   эксплуатацию    производственной
     использованием   полимерных  и                                                 линии
     металлополимерных микроплат  и
     носителей

64.  Разработка новых       методов   173     68     105                            разработка технологической         и
     технологических      испытаний   ---     --     ---                            производственной документации,  ввод
     изделий      микроэлектроники,   173     68     105                            в  эксплуатацию   специализированных
     гарантирующих   их  повышенную                                                 участков
     надежность     в      процессе
     долговременной  (более 100 000
     часов) эксплуатации, на основе
     использования          типовых
     оценочных  схем   и   тестовых
     кристаллов

65.  Разработка современных методов   227     132    95                             разработка комплектов  документации,
     анализа     отказов    изделий   ---     ---    --                             включая    утвержденные   отраслевые
     микроэлектроники с применением   227     132    95                             методики,   ввод   в    эксплуатацию
     ультраразрешающих      методов                                                 модернизированных     участков     и
     (ультразвуковая   гигагерцовая                                                 лабораторий анализа отказов
     микроскопия,      сканирование
     синхротронным      излучением,
     атомная  и  туннельная силовая
     микроскопия,   электронно-   и
     ионно-лучевое  зондирование  и
     другие)

66.  Разработка             базовых   1200                                   1200   разработка и    освоение     базовой
     субмикронных        технологий   ----                                   ----   технологии производства фотошаблонов
     уровней 0,065 - 0,045 мкм        800                                    800    с технологическим уровнем  до  0,045
                                                                                    мкм      с     целью     обеспечения
                                                                                    информационной    защиты    проектов
                                                                                    изделий     микроэлектроники     при
                                                                                    использовании           контрактного
                                                                                    производства    (отечественного    и
                                                                                    зарубежного)  (2014  год).  Создание
                                                                                    отраслевой     базы     данных     и
                                                                                    технологических      файлов      для
                                                                                    автоматизированных            систем
                                                                                    проектирования          сверхбольших
                                                                                    интегральных схем;
                                                                                    создание базовой          технологии
                                                                                    формирования  многослойной  разводки
                                                                                    (7-8      уровней)      сверхбольших
                                                                                    интегральных  схем на основе Al и Cu
                                                                                    (2015  год),  освоение  и   развитие
                                                                                    технологии      проектирования     и
                                                                                    изготовления     для     обеспечения
                                                                                    технологичности    производства    и
                                                                                    стабильного выхода годных изделий, а
                                                                                    также  с целью размещения заказов на
                                                                                    современной    базе     контрактного
                                                                                    производства    с    технологическим
                                                                                    уровнем  до  0,045  мкм,  разработка
                                                                                    комплекта            технологической
                                                                                    документации                       и
                                                                                    организационно-распорядительной
                                                                                    документации    по    взаимодействию
                                                                                    центров

67.  Исследование   технологических   1425                                   1425   создание технологии     сверхбольших
     процессов   и   структур   для   ----                                   ----   интегральных   схем  технологических
     субмикронных        технологий   950                                    950    уровней   65-32   нм,    организация
     уровней 0,032 мкм                                                              опытного производства (2015 год)

68.  Разработка       перспективных   1425                                   1425   создание технологий  и   конструкций
     технологий    и    конструкций   ----                                   ----   перспективных                изделий
     изделий       интеллектуальной   950                                    950    интеллектуальной             силовой
     силовой     электроники    для                                                 микроэлектроники  для  применения  в
     применения    в     аппаратуре                                                 аппаратуре промышленного и  бытового
     бытового    и    промышленного                                                 назначения;
     применения,  на транспорте,  в                                                 создание встроенных     интегральных
     топливно-энергетическом                                                        источников питания (2013-2015 годы)
     комплексе  и   в   специальных
     системах

69.  Разработка       перспективных   1650                                   1650   разработка перспективной  технологии
     технологий сборки сверхбольших   ----                                   ----   многокристальных    микроэлектронных
     интегральных      схем       в   1100                                   1100   модулей для мобильных  применений  с
     многовыводные  корпуса,  в том                                                 использованием      полимерных     и
     числе  корпуса   с   матричным                                                 металлополимерных    микроплат     и
     расположением     выводов    и                                                 носителей (2015 год)
     технологий    многокристальной
     сборки,    включая    создание
     "систем в корпусе"

     Всего по направлению 4           11222   993,4  1236,4  1151    1913,6  5927,5
                                      ------  -----  ------  -----   ------  ------
                                      7214,7  639,6  789,4   741,3   1244,4  3800

                                    Направление 5. Электронные материалы и структуры

70.  Разработка          технологии   78      51     27                             внедрение новых      диэлектрических
     производства             новых   --      --     --                             материалов на основе ромбоэдрической
     диэлектрических материалов  на   49      32     17                             модификации нитрида бора и  подложек
     основе         ромбоэдрической                                                 из   поликристаллического  алмаза  с
     модификации  нитрида  бора   и                                                 повышенной    теплопроводностью    и
     подложек                    из                                                 электропроводностью   для   создания
     поликристаллического алмаза                                                    нового поколения высокоэффективных и
                                                                                    надежных        сверхвысокочастотных
                                                                                    приборов

71.  Разработка          технологии   131                    77      54             создание технологии     производства
     производства                     ---                    --      --             гетероэпитаксиальных    структур   и
     гетероэпитаксиальных  структур   87                     51      36             структур            гетеробиполярных
     и   структур  гетеробиполярных                                                 транзисторов   на  основе  нитридных
     транзисторов     на     основе                                                 соединений  А В    для   обеспечения
     нитридных  соединений А В  для                                                              3 5
                            3 5                                                     разработок       и      изготовления
     мощных       полупроводниковых                                                 сверхвысокочастотных      монолитных
     приборов                     и                                                 интегральных     схем    и    мощных
     сверхвысокочастотных                                                           транзисторов (2011 год)
     монолитных интегральных схем

72.  Разработка базовой  технологии   77      50     27                             создание базовой          технологии
     производства       метаморфных   --      --     --                             производства     гетероструктур    и
     структур  на  основе  GaAs   и   50      32     18                             псевдоморфных структур на  подложках
     псевдоморфных    структур   на                                                 InP         для        перспективных
     подложках  InP  для   приборов                                                 полупроводниковых     приборов     и
     сверхвысокочастотной                                                           сверхвысокочастотных      монолитных
     электроники  диапазона   60-90                                                 интегральных  схем  диапазона  60-90
     ГГц                                                                            ГГц (2009 год)

73.  Разработка          технологии   133                    79      54             создание спинэлектронных   магнитных
     производства   спинэлектронных   ---                    --      --             материалов  и микроволновых структур
     магнитных          материалов,   88                     52      36             со спиновым управлением для создания
     радиопоглощающих             и                                                 перспективных          микроволновых
     мелкодисперсных     ферритовых                                                 сверхвысокочастотных        приборов
     материалов                 для                                                 повышенного быстродействия и низкого
     сверхвысокочастотных приборов                                                  энергопотребления

74.  Разработка          технологии   77      50     27                             создание технологии        массового
     производства      высокочистых   --      --     --                             производства высокочистых химических
     химических          материалов   49      31     18                             материалов     (аммиака,     арсина,
     (аммиака,   арсина,   фосфина,                                                 фосфина,  тетрахлорида  кремния) для
     тетрахлорида   кремния)    для                                                 выпуска  полупроводниковых  подложек
     обеспечения       производства                                                 нитрида   галлия,  арсенида  галлия,
     полупроводниковых     подложек                                                 фосфида     индия,     кремния     и
     нитрида    галлия,    арсенида                                                 гетероэпитаксиальных  структур на их
     галлия, фосфида индия, кремния                                                 основе (2009 год)
     и         гетероэпитаксиальных
     структур на их основе

75.  Разработка          технологии   134                    79      55             создание технологии     производства
     производства                     ---                    --      --             поликристаллических  алмазов  и  его
     поликристаллических алмазов  и   88                     52      36             пленок          для           мощных
     их  пленок  для теплопроводных                                                 сверхвысокочастотных  приборов (2011
     конструкций  мощных   выходных                                                 год)
     транзисторов                 и
     сверхвысокочастотных приборов

76.  Исследование путей           и   57      36     21                             создание технологии     изготовления
     разработка          технологии   --      --     --                             новых    микроволокон    на   основе
     изготовления             новых   38      24     14                             двухмерных     диэлектрических     и
     микроволокон     на     основе                                                 металлодиэлектрических    микро-   и
     двухмерных  диэлектрических  и                                                 наноструктур   для   новых   классов
     металлодиэлектрических  микро-                                                 микроструктурных           приборов,
     и   наноструктур,   а    также                                                 магниторезисторов,     осцилляторов,
     полупроводниковых    нитей   с                                                 устройств оптоэлектроники (2009 год)
     наноразмерами   при    вытяжке
     стеклянного         капилляра,
     заполненного   жидкой    фазой
     полупроводника

77.  Разработка          технологии   106            25      44      37             создание базовой           пленочной
     выращивания              слоев   ---            --      --      --             технологии         пьезокерамических
     пьезокерамики  на   кремниевых   69             17      28      24             элементов,       совместимой       с
     подложках   для   формирования                                                 комплементарной      металлооксидной
     комплексированных    устройств                                                 полупроводниковой  технологией   для
     микросистемной техники                                                         разработки  нового  класса  активных
                                                                                    пьезокерамических         устройств,
                                                                                    интегрированных   с   микросистемами
                                                                                    (2011 год)

78.  Разработка методологии       и   57      36     21                             создание технологии   травления    и
     базовых   технологий  создания   --      --     --                             изготовления  кремниевых  трехмерных
     многослойных        кремниевых   38      24     14                             базовых                    элементов
     структур    с   использованием                                                 микроэлектромеханических   систем  с
     "жертвенных"   и   "стопорных"                                                 использованием    "жертвенных"     и
     диффузионных и диэлектрических                                                 "стопорных"   слоев   для  серийного
     слоев для производства силовых                                                 производства               элементов
     приборов      и      элементов                                                 микроэлектромеханических      систем
     микроэлектромеханических                                                       (2009  год)  кремниевых  структур  с
     систем                                                                         использованием   силикатных  стекол,
                                                                                    моно-,    поликристаллического     и
                                                                                    пористого кремния и диоксида кремния

79.  Разработка базовых  технологий   105                    61      44             создание технологии        получения
     получения             алмазных   ---                    --      --             алмазных           полупроводниковых
     полупроводниковых наноструктур   70                     41      29             наноструктур     и     наноразмерных
     и  наноразмерных  органических                                                 органических    покрытий,   алмазных
     покрытий с широким  диапазоном                                                 полупроводящих      пленок       для
     функциональных свойств                                                         конкурентоспособных
                                                                                    высокотемпературных  и   радиационно
                                                                                    стойких    устройств    и   приборов
                                                                                    двойного назначения (2011 год)

80.  Исследование и      разработка   141     57     84                             создание технологии     изготовления
     технологии               роста   ---     --     --                             гетероструктур    и   эпитаксиальных
     эпитаксиальных  слоев  карбида   93      38     55                             структур  на  основе  нитридов   для
     кремния,  структур  на  основе                                                 создания     радиационно     стойких
     нитридов, а также формирования                                                 сверхвысокочастотных    и    силовых
     изолирующих   и  коммутирующих                                                 приборов нового поколения (2009 год)
     слоев в приборах экстремальной
     электроники

81.  Разработка          технологии   160     52     108                            создание технологии     производства
     производства       радиационно   ---     --     ---                            структур    "кремний   на   сапфире"
     стойких           сверхбольших   90      35     55                             диаметром  до  150  мм  с   толщиной
     интегральных      схем      на                                                 приборного   слоя   до   0,1  мкм  и
     ультратонких                                                                   топологическими нормами до 0,18  мкм
     гетероэпитаксиальных                                                           для     производства     электронной
     структурах     кремния      на                                                 компонентной  базы  специального   и
     сапфировой     подложке    для                                                 двойного назначения (2009 год)
     производства       электронной
     компонентной базы специального
     и двойного назначения

82.  Разработка          технологии   146     54     92                             создание технологии     производства
     производства      высокоомного   ---     --     --                             радиационно  облученного  кремния  и
     радиационно        облученного   96      36     60                             пластин  кремния  до  150   мм   для
     кремния,   слитков  и  пластин                                                 выпуска    мощных   транзисторов   и
     кремния диаметром  до  150  мм                                                 сильноточных    тиристоров    нового
     для    производства    силовых                                                 поколения (2009 год)
     полупроводниковых приборов

83.  Разработка          технологии   92      36     56                             разработка и  промышленное  освоение
     производства        кремниевых   --      --     --                             получения         высококачественных
     подложек   и   структур    для   63      24     39                             подложек     и     структур      для
     силовых      полупроводниковых                                                 использования в производстве силовых
     приборов      с      глубокими                                                 полупроводниковых    приборов,     с
     высоколегированными  слоями р-                                                 глубокими высоколегированными слоями
     и   n-типов   проводимости   и                                                 и  скрытыми   слоями   носителей   с
     скрытыми  слоями  носителей  с                                                 повышенной рекомбинацией (2009 год)
     повышенной рекомбинацией

84.  Разработка          технологии   216     72     144                            создание технологии     производства
     производства      электронного   ---     --     ---                            пластин  кремния диаметром до 200 мм
     кремния,  кремниевых   пластин   162     48     114                            и  эпитаксиальных  структур   уровня
     диаметром    до   200   мм   и                                                 0,25 - 0,18 мкм (2009 год)
     кремниевых      эпитаксиальных
     структур   уровня   технологии
     0,25 - 0,18 мкм

85.  Разработка        методологии,   232                    109     123            разработка технологии корпусирования
     конструктивно-технических        ---                    ---     ---            интегральных          схем         и
     решений    и     перспективной   161                    78      83             полупроводниковых приборов на основе
     базовой             технологии                                                 использования           многослойных
     корпусирования    интегральных                                                 кремниевых  структур  со   сквозными
     схем    и    полупроводниковых                                                 токопроводящими            каналами,
     приборов       на       основе                                                 обеспечивающей  сокращение   состава
     использования     многослойных                                                 сборочных  операций  и  формирование
     кремниевых     структур     со                                                 трехмерных структур (2010 год,  2011
     сквозными      токопроводящими                                                 год)
     каналами

86.  Разработка          технологии   220                    85      135            создание базовой          технологии
     производства    гетероструктур   ---                    --      ---            производства гетероструктур SiGe для
     SiGe      для       разработки   143                    53      90             выпуска            быстродействующих
     сверхбольших интегральных схем                                                 сверхбольших   интегральных  схем  с
     с   топологическими    нормами                                                 топологическими нормами 0,25 -  0,18
     0,25 - 0,18 мкм                                                                мкм (2010 год, 2011 год)

87.  Разработка          технологии   46      28     18                             создание технологии  выращивания   и
     выращивания и обработки, в том   --      --     --                             обработки         пьезоэлектрических
     числе плазмохимической,  новых   34      22     12                             материалов    акустоэлектроники    и
     пьезоэлектрических  материалов                                                 акустооптики     для     обеспечения
     для    акустоэлектроники     и                                                 производства  широкой   номенклатуры
     акустооптики                                                                   акустоэлектронных  устройств  нового
                                                                                    поколения (2009 год)

88.  Разработка          технологий   87                     32      55             создание технологии        массового
     производства соединений А В  и   --                     --      --             производства  исходных  материалов и
                              3 5     58                     22      36             структур для перспективных  приборов
     тройных структур для:                                                          лазерной  и оптоэлектронной техники,
     производства       сверхмощных                                                 в том числе:
     лазерных диодов;                                                               производства сверхмощных    лазерных
     высокоэффективных  светодиодов                                                 диодов (2010 год);
     белого,  зеленого,  синего   и                                                 высокоэффективных        светодиодов
     ультрафиолетового диапазонов;                                                  белого,    зеленого,    синего     и
     фотоприемников        среднего                                                 ультрафиолетового  диапазонов  (2011
     инфракрасного диапазона                                                        год);
                                                                                    фотоприемников              среднего
                                                                                    инфракрасного диапазона (2011 год)

89.  Исследование и      разработка   48      30     18                             создание технологии     производства
     технологии           получения   --      --     --                             принципиально    новых    материалов
     гетероструктур с вертикальными   33      33     33                             полупроводниковой   электроники   на
     оптическими   резонаторами  на                                                 основе    сложных   композиций   для
     основе    квантовых    ям    и                                                 перспективных  приборов  лазерной  и
     квантовых       точек      для                                                 оптоэлектронной техники (2009 год)
     производства       вертикально
     излучающих     лазеров     для
     устройств передачи  информации
     и  матриц  для оптоэлектронных
     переключателей          нового
     поколения

90.  Разработка          технологии   86                     32      54             создание технологии     производства
     производства       современных   --                     --      --             компонентов  для  специализированных
     компонентов                для   57                     22      35             электронно-лучевых    (2010    год),
     специализированных                                                             электронно-оптических  и отклоняющих
     фотоэлектронных  приборов,   в                                                 систем (2010 год),  стеклооболочек и
     том числе:                                                                     деталей  из электровакуумного стекла
     катодов и газопоглотителей;                                                    различных марок (2011 год)
     электронно-оптических        и
     отклоняющих систем;
     стеклооболочек и   деталей  из
     электровакуумного       стекла
     различных марок

91.  Разработка          технологии   47      30     17                             создание технологии     производства
     производства    особо   тонких   --      --     --                             особо      тонких     гетерированных
     гетерированных   нанопримесями   32      20     12                             нанопримесями      полупроводниковых
     полупроводниковых структур для                                                 структур       для      изготовления
     высокоэффективных фотокатодов,                                                 высокоэффективных        фотокатодов
     электронно-оптических                                                          электронно-оптических
     преобразователей             и                                                 преобразователей  и  фотоэлектронных
     фотоэлектронных   умножителей,                                                 умножителей,              приемников
     приемников       инфракрасного                                                 инфракрасного  диапазона,  солнечных
     диапазона      и     солнечных                                                 элементов  и других приложений (2009
     элементов      с      высокими                                                 год)
     значениями        коэффициента
     полезного действия

92.  Разработка базовой  технологии   85                     32      53             создание технологии   монокристаллов
     производства    монокристаллов   --                     --      --             AlN  для  изготовления изолирующих и
     AlN      для      изготовления   58                     22      36             проводящих  подложек  для   создания
     изолирующих    и    проводящих                                                 полупроводниковых
     подложек для гетероструктур                                                    высокотемпературных     и     мощных
                                                                                    сверхвысокочастотных приборов нового
                                                                                    поколения (2011 год)

93.  Разработка базовой  технологии   47      30     17                             создание базовой          технологии
     производства                     --      --     --                             вакуумно-плотной         спецстойкой
     наноструктурированных  оксидов   32      20     12                             керамики   из    нанокристаллических
     металлов (корунда и т. п.) для                                                 порошков  и  нитридов  металлов  для
     производства  вакуумно-плотной                                                 промышленного  освоения  спецстойких
     нанокерамики,  в  том  числе с                                                 приборов   нового   поколения  (2009
     заданными          оптическими                                                 год),  в   том   числе   микрочипов,
     свойствами                                                                     сверхвысокочастотных   аттенюаторов,
                                                                                    RLC-матриц,  а также  особо  прочной
                                                                                    электронной     компонентной    базы
                                                                                    оптоэлектроники и фотоники

94.  Разработка базовой  технологии   86                     33      53             создание технологии     производства
     производства    полимерных   и   --                     --      --             полимерных      и     композиционных
     гибридных                        58                     21      37             материалов     с      использованием
     органо-неорганических                                                          поверхностной и объемной модификации
     наноструктурированных защитных                                                 полимеров     наноструктурированными
     материалов   для   электронных                                                 наполнителями для создания изделий с
     компонентов  нового  поколения                                                 высокой механической,  термической и
     прецизионных                 и                                                 радиационной стойкостью при работе в
     сверхвысокочастотных                                                           условиях длительной  эксплуатации  и
     резисторов,      терминаторов,                                                 воздействии   комплекса  специальных
     аттенюаторов                 и                                                 внешних факторов (2011 год)
     резисторно-индукционно-емкост-
     ных    матриц,    стойких    к
     воздействию          комплекса
     специальных  внешних  факторов

95.  Исследование и      разработка   1395                                   1395   создание базовой          технологии
     перспективных                    ----                                   ----   производства         гетероструктур,
     гетероструктурных            и   930                                    930    структур и псевдоморфных структур на
     наноструктурированных                                                          подложках   InP   для  перспективных
     материалов  с   экстремальными                                                 полупроводниковых     приборов     и
     характеристиками           для                                                 сверхвысокочастотных      монолитных
     перспективных      электронных                                                 интегральных  схем  диапазона  60-90
     приборов   и  радиоэлектронной                                                 ГГц (2012 год),  создание технологии
     аппаратуры        специального                                                 получения алмазных полупроводниковых
     назначения                                                                     наноструктур     и     наноразмерных
                                                                                    органических  покрытий  (2013  год),
                                                                                    алмазных  полупроводящих  пленок для
                                                                                    конкурентоспособных
                                                                                    высокотемпературных   и  радиационно
                                                                                    стойких   устройств    и    приборов
                                                                                    двойного     назначения,    создание
                                                                                    технологии              изготовления
                                                                                    гетероструктур    и   эпитаксиальных
                                                                                    структур на  основе  нитридов  (2015
                                                                                    год)

96.  Исследование и      разработка   1395                                   1395   создание нового               класса
     экологически чистых материалов   ----                                   ----   конструкционных   и  технологических
     и методов их  использования  в   930                                    930    материалов  для  уровней  технологии
     производстве       электронной                                                 0,065  -  0,032  мкм  и  обеспечения
     компонентной      базы       и                                                 высокого  процента   выхода   годных
     радиоаппаратуры,       включая                                                 изделий, экологических требований по
     бессвинцовые  композиции   для                                                 международным стандартам (2012  год,
     сборки                                                                         2015 год)

97.  Разработка       перспективных   1380                                   1380   создание перспективных    технологий
     технологий получения ленточных   ----                                   ----   производства     компонентов     для
     материалов        (полимерные,   920                                    920    специализированных
     металлические, плакированные и                                                 электронно-лучевых,
     другие)  для  радиоэлектронной                                                 электронно-оптических и  отклоняющих
     аппаратуры     и     сборочных                                                 систем,  стеклооболочек и деталей из
     операций           электронной                                                 электровакуумного  стекла  различных
     компонентной базы                                                              марок     (2013    год),    создание
                                                                                    технологии производства полимерных и
                                                                                    композиционных      материалов     с
                                                                                    использованием    поверхностной    и
                                                                                    объемной    модификации    полимеров
                                                                                    наноструктурированными наполнителями
                                                                                    (2015 год)

     Всего по направлению 5           6864    612    702     663     717     4170
                                      ----    ---    ---     ---     ---     ----
                                      4576    408    468     442     478     2780

                             Направление 6. Группы пассивной электронной компонентной базы

98.  Разработка технологии  выпуска   33      18     15                             разработка расширенного         ряда
     прецизионных                     --      --     --                             резонаторов       с       повышенной
     температуростабильных            22      12     10                             кратковременной   и   долговременной
     высокочастотных до 1,5 - 2 ГГц                                                 стабильностью      для      создания
     резонаторов  на   поверхностно                                                 контрольной  аппаратуры  и   техники
     акустических волнах до 1,5 ГГц                                                 связи двойного назначения
     с полосой до  70  процентов  и
     длительностью  сжатого сигнала
     до 2-5 нс

99.  Разработка в  лицензируемых  и   120            21      48      51             создание технологии  и   конструкции
     нелицензируемых  международных   ---            --      --      --             акустоэлектронных     пассивных    и
     частотных диапазонах 860 МГц и   80             14      32      34             активных  меток-транспондеров    для
     2,45  ГГц  ряда радиочастотных                                                 применения      в      логистических
     пассивных      и      активных                                                 приложениях   на    транспорте,    в
     акустоэлектронных                                                              торговле и промышленности (2010 год,
     меток-транспондеров,  в    том                                                 2011 год)
     числе  работающих  в  реальной
     помеховой   обстановке,    для
     систем          радиочастотной
     идентификации     и     систем
     управления доступом

100. Разработка базовой конструкции   32      17     15                             создание технологии проектирования и
     и    промышленной   технологии   --      --     --                             базовых                  конструкций
     производства пьезокерамических   21      11     10                             пьезоэлектрических    фильтров     в
     фильтров    в   корпусах   для                                                 малогабаритных      корпусах     для
     поверхностного монтажа                                                         поверхностного      монтажа      при
                                                                                    изготовлении техники связи массового
                                                                                    применения (2009 год)

101. Разработка          технологии   39      39                                    создание базовой          технологии
     проектирования,        базовой   --      --                                    акустоэлектронных    приборов    для
     технологии   производства    и   26      26                                    перспективных     систем      связи,
     конструирования                                                                измерительной     и    навигационной
     акустоэлектронных    устройств                                                 аппаратуры   нового   поколения    -
     нового  поколения  и  фильтров                                                 подвижных, спутниковых, тропосферных
     промежуточной    частоты     с                                                 и   радиорелейных    линий    связи,
     высокими  характеристиками для                                                 цифрового             интерактивного
     современных   систем    связи,                                                 телевидения,      радиоизмерительной
     включая    высокоизбирательные                                                 аппаратуры,         радиолокационных
     высокочастотные     устройства                                                 станций,  спутниковых  навигационных
     частотной      селекции     на                                                 систем (2008 год)
     поверхностных                и
     приповерхностных    волнах   и
     волнах   Гуляева-Блюштейна   с
     предельно    низким    уровнем
     вносимого    затухания     для
     частотного диапазона до 5 ГГц

102. Разработка          технологии   96             33      63                     создание технологии     производства
     проектирования    и    базовой   --             --      --                     высокоинтегрированной    электронной
     технологии        производства   64             22      42                     компонентной базы  типа  "система  в
     функциональных     законченных                                                 корпусе" для вновь разрабатываемых и
     устройств        стабилизации,                                                 модернизируемых              сложных
     селекции  частоты  и обработки                                                 радиоэлектронных систем и комплексов
     сигналов   типа   "система   в                                                 (2010 год)
     корпусе"

103. Разработка базовой конструкции   69                     48      21             создание базовой  технологии   (2010
     и    технологии   изготовления   --                     --      --             год)     и    базовой    конструкции
     высокочастотных резонаторов  и   46                     32      14             микроминиатюрных     высокодобротных
     фильтров      на      объемных                                                 фильтров    для   малогабаритной   и
     акустических    волнах     для                                                 носимой аппаратуры навигации и связи
     телекоммуникационных         и
     навигационных систем

104. Разработка технологии        и   30      30                                    создание нового            поколения
     базовой            конструкции   --      --                                    оптоэлектронных     приборов     для
     фоточувствительных приборов  с   20      20                                    обеспечения   задач   предотвращения
     матричными         приемниками                                                 аварий и контроля
     высокого    разрешения     для
     видимого       и      ближнего
     инфракрасного  диапазона   для
     аппаратуры            контроля
     изображений

105. Разработка базовой  технологии   37      16     21                             создание базовой  технологии  нового
     унифицированных                  --      --     --                             поколения приборов контроля тепловых
     электронно-оптических            24      10     14                             полей  для  задач   теплоэнергетики,
     преобразователей,                                                              медицины,  поисковой  и  контрольной
     микроканальных        пластин,                                                 аппаратуры      на       транспорте,
     пироэлектрических   матриц   и                                                 продуктопроводах    и   в   охранных
     камер   на   их    основе    с                                                 системах (2009 год)
     чувствительностью  до  0,1 К и
     широкого         инфракрасного
     диапазона

106. Разработка базовой  технологии   84      45     39                             создание базовой   технологии  (2008
     создания       интегрированных   --      --     --                             год)  и  конструкции   новых   типов
     гибридных      фотоэлектронных   55      30     25                             приборов, сочетающих фотоэлектронные
     высокочувствительных         и                                                 и твердотельные технологии,  с целью
     высокоразрешающих  приборов  и                                                 получения   экстремально  достижимых
     усилителей      для      задач                                                 характеристик для задач  контроля  и
     космического   мониторинга   и                                                 наблюдения   в   системах   двойного
     специальных систем наблюдения,                                                 назначения
     научной   и    метрологической
     аппаратуры

107. Разработка базовых  технологий   96      45     51                             создание базовой   технологии  (2008
     мощных       полупроводниковых   --      --     --                             год)  и  конструкций   принципиально
     лазерных диодов  (непрерывного   64      30     34                             новых    мощных   диодных   лазеров,
     и    импульсного   излучения),                                                 предназначенных     для     широкого

Информация по документу
Читайте также